White paper – An Industrial Workflow for Scalable Micro and Nanostructures

Gemeinsam mit Himax IGI und 3D AG hat die polyscale innovations GmbH ein Whitepaper veröffentlicht, das einen durchgängigen industriellen Prozess zur Skalierung von Mikro- und Nanostrukturen von der Idee bis zur Serienfertigung beschreibt.

Das Whitepaper zeigt eine vollständig integrierte Prozesskette: von der simulativen Auslegung der Mikrostrukturen über die großflächige lithografische Masterherstellung und die hochpräzise Herstellung elektroabgeformter Nickel-Werkzeuge bis hin zur industriellen Rolle-zu-Rolle UV-Nanoimprint-Replikation. Anhand eines realen Foliendemonstrators wird nachgewiesen, dass selbst komplexe Mikrostrukturen mit hoher Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in industrielle Maßstäbe überführt werden können.

Die Analyse der replizierten Strukturen belegt eine exzellente Prozessstabilität mit sehr geringen Abweichungen in Winkeln, lateralen Abmessungen und Strukturhöhe. Damit liefert das Whitepaper einen praxisnahen Nachweis, wie klar definierte Schnittstellen und abgestimmte Qualitätsstandards den zuverlässigen Übergang von Laborstrukturen zu industrieller Massenfertigung ermöglichen.

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